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【24h】

MEMs実装のためのウェーハ直接接合技術

机译：MEMs実装のためのウェーハ直接接合技術

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MEMSの実用化·商業化を考えるうえでは，微小な可動部分の信頼性の確保と，製造コストの低減が大きな課題になる．前者に対してトライボロジ，ーが非常に重要な役割を果たしていることは，本誌の読者には説明するまでもないであろう．後者の製造コストには様々な要因が含まれるか，MEMSでは組立·バツケージングなどの実装工程のコストの割合が非常に大きい．本稿では，そのようなMEMS実装工程の主要な要素技術のーつとして，ウェーハの直接接合技術，特に筆者か研究を進めている常温での接合技術について紹介したい．

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