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ナノレベルの付加加工によるナノ黒板の開発（第2報）－工具摩耗へ及ぼすメニスカスの影響

机译：ナノレベルの付加加工によるナノ黒板の開発（第2報）－工具摩耗へ及ぼすメニスカスの影響

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本論文におけるナノ付加加工とは原子間力顕微鏡（AFM: Atomic Force Microscope）プローブを被付加材にしゅう動させ，プローブ物質摩耗粉を被付加材に付けることによって，微細形象や文字形状を摩耗粉で作製する方法である．近年、走査型プローブ顕微鏡（SPM: Scanning Probe Microscope）を加工装置として用いたナノ切削やナノオーダでパターン形成されたモールドを用いるナノプリンティング·ナノインプリントなどの微細加工技術が報告されており，AFMを用いた隆起加工も報告されているが，同法らは修正に困難が伴う人工物形成であり，修正を必要とする場合には不便である湯合が多い．これに対して本ナノ付加加工は，単結晶シリコンプローブ（以後，Siプローブ）を工具として，ガラスを被付加材として用いることで，微細形象や文字形状が修正可能なナノ黒板が構成されるので，ナノレベルのイメージ記憶装置の開発などには便利である．これまでの研究では，水分が充分に存在する雰囲気湿度55％という環境下での付加加工を扱っていたが，図1に示すように，プローブ押し付け力を増すことによって，湿度20％という低湿度状態においても付加加工は可能であることが分かった．そこで，本研究では前報では扱っていなかった湿度がプローブ摩耗に与える影響を調べ，低湿度状態における効率的なイメージ作製に役立つ付加加工量の算出の可能な理論式の導出を目的とする．

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