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共焦点顕微鏡·ラマン分光複合装置による応力·ひずみ測定－MEMSの信頼性評価への適用

机译：共焦点顕微鏡·ラマン分光複合装置による応力·ひずみ測定－MEMSの信頼性評価への適用

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微小領域の応力測定法として顕微ラマン散乱分光法に着目した．ほかの手法としてX線回折，電子線回折法があげられるが，X線回折法は高感度であるが，通常空間分解能は数100mm程度と大きい．また，電子線回折法は空間分解能は高いが試料の前処理が煩雑である．顕微ラマン分光法は1μm程度の空間分解能，非破壊，非接触，大気中で測定が可能などの利点を有することから，ひずみ測定法として広く利用されている．

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