微小領域での破壊·電気·粘弾性測定技術

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机译：微小領域での破壊·電気·粘弾性測定技術

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摘要

NI法は薄膜や微細材料における材料の変形に関する知見を得ることができる．しかし，不具合に直結する破壊現象，接触による電気の通電特性，時間依存型変形（粘弾性変形）に関する知見をNI法だけで直接的に得ることは困難である．そこで，著者らはそれらの直接測定法を開発したので以下に紹介していく．

来源
《精密工学会誌》 |2013年第948期|1204-1207|共4页
作者
清水悟史;
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作者单位

株式会社日産アーク;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类仪器、仪表;机械制造工艺;
关键词
Nanoindentation; Fracture; Electrical conduction; Viscoelasticity; Thin film;

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com