光学素子計測についての技術動向と展望

大谷幸利

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光学素子計測についての技術動向と展望

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レンズ，ミラー，プリズム，偏光素子，モールド用金型，光学薄膜，フィルタなど光学素子とその材料であるガラス，結晶，シリコン，金属の評価法について述べた．近年の特徴は，非球面を含む自由形状化に加えてメートルオーダの大口径化またはマイクロサイズの微小化という極端な特殊形状が求められている．さらに，要求精度もナノメートルからサブナノメートル，ピコメートルに迫っている．現在では，一種類の計測手法ですべてのニーズを計測可能とする有効な手法はないが，今後，さらにさまざまな高速·高精度·高ダイナミックレンジの計測·評価法が報告されることを願っている．

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来源
《精密工学会誌》 |2014年第954期|501-505|共5页
作者
大谷幸利;
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作者单位

宇都宮大学オプティクス教育研究センター;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类仪器、仪表;机械制造工艺;
关键词
Optical elements; Optical measurement; Optical metrology; Micro-nano meters technology;

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