MEMSとトライボロジー

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• 来源
  《トライボロジスト》 |2004年第2期|112-121|共10页
• 作者

  藤田博之; Hiroyuki FUJITA;

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• 作者单位

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 日语
• 中图分类 机械摩擦、磨损与润滑;
• 关键词

  MEMS; Microactuator; Micromachining; Tribology; Friction;