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白色干渉計測法の原理と応用

机译：白色干渉計測法の原理と応用

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光波を二方向に振幅分割し，それらを再び合波したときに生ずる光の干渉現象を利用した干渉計測法は，これまでに種々提案されており，レンズ·ミラー等の光学部品の表面形状計測や半導体デバイスの欠陥検査等へ応用され，非接触かつ高精度な計測法となっている．光をプローブとした生体計測，医用診断治療は，X線やγ線などに比べて光のもつフォトンエネルギーが低く，生体にダメージを与えず，生の状態に近い条件で生体内部まで診断することが可能であり，今後ますます有望になると考えられている．本稿は，光干渉計測技術の中で，低コヒーレンス光源を利用した白色干渉計測法について解説する．白色干渉計測法は，低コヒーレンス光源の利用により，所望の被検面以外からの反射や被検物体中の光散乱にともなう煩雑な干渉信号を回避できるので，生体計測などへの応用が進んでいる．

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