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微分型サイズモ変位センサの高周波ダイナミクスに関する一考察と低周波帯域の拡大

机译：微分型サイズモ変位センサの高周波ダイナミクスに関する一考察と低周波帯域の拡大

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本論文では，これまで2Hz以上にとどまっていた一階微分型変位センサの低周波帯域を，速度信号の検出感度の改善によって拡大する．この過程で，根軌跡によって一階微分型と二階微分型変位センサの広帯域化の原理を比較したところ，高周波共振の出現に関する差異を見出した．このため，二階微分型を一階微分型と同一機構で試作し，両センサの実機特性の差異を明らかにする．その後，低周波帯域の拡大のため，従来の検定コイルのみでなくフォーサコイルからの逆起電力もFBするハイブリッド方式を提案する．フォーサコイルの逆起電力FBはステップモータなどで汎用の技術であるが，このハイブリッド方式は従来の機構をそのまま生かせるので，一階微分型変位センサにとって合理的な低周波帯域の拡大方法である．

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