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【24h】

Si-MEMS微細加工を用いたマイクロニードル作製法

机译：Si-MEMS微細加工を用いたマイクロニードル作製法

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半導体微細加工技術を応用展開したMEMS技術は，Si 基板上における電気機械デバイス（電子回路，機械構造体，物理·化学量センサ，アクチュエータなど）の微細化·集積化を可能にし，これにより世の中のシステムを高機能化·高付加価値化へと導く技術である．歴史的には，1980年代後半に髪の毛の直径とほぼ同じ大きさのマイクロモータが実現され，その後，MEMS技術は，急速に自動車，情報，医療など多種多様の分野へと広がり，今ではマイクロナノ領域における基盤技術へと成長している．Si-MEMS技術を用いた医療用マイクロニードルについては，1980年代半ば頃から神経用インターフェイスが開発され，1990年代後半からは経皮剤，採血用注射へと波及している．本稿では，経皮剤応用を目指したマイクロニードルの開発について，詳細に解説する．

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