マイクロ·ナノ技術によるN-MEMSのビジネス化を目指して

伊藤寿浩

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マイクロ·ナノ技術によるN-MEMSのビジネス化を目指して

机译：マイクロ·ナノ技術によるN-MEMSのビジネス化を目指して

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本専門委員会がレビューあるいはインタビュー記事を担当するのは，2004年8月号「マイクロ·ナノ技術のビジネス化を目指して」，2009年10月号「マイクロ·ナノ技術によるMEMSのビジネス化を目指して」に続き，3度目であるが，今回のタイトルには，5年前のそれに，“N”のみを加えさせていただいた．このNは，つくばイノベーションアリーナでは，NanoのNであるが，成形技術をうまく利用したMEMSという意味でNanoimprinted-MEMS，課題解決型MEMSの代表格である無線機能を搭載したNetworked-MEMS，グローバルニッチデバイスの創出を目指したNiche-MEMSなどの意味を込めている．もちろん，頑張ろう，Nippon-MEMSというのもよいかもしれない．いずれにせよ，今後とも，学会員の皆様のご協力をいただきながら，MEMS商業化技術に関して意欲的な調査研究を続けていきたいと考えている．

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来源
《精密工学会誌》 |2014年第958期|897-900|共4页
作者
伊藤寿浩;
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作者单位

独立行政法人産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类仪器、仪表;机械制造工艺;
关键词
MEMS; Micro/Nano technology; Wireless sensor nodes; MEMS foundry; Piezoelectric MEMS;

マイクロ·ナノ技術によるN-MEMSのビジネス化を目指して

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