露光装置における6自由度磁気浮上ステージ開発－背景と第１報

首页> 外文期刊>精密工学会誌 >露光装置における6自由度磁気浮上ステージ開発－背景と第１報

【24h】

机译：露光装置における6自由度磁気浮上ステージ開発－背景と第１報

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

页面导航

摘要

真空中でマスク(レチクル)パタンをウェハへ転写露光する装置における，マスク(レチクル)/ウェハ高精度位置決めステージを提案する．その一例として磁気浮上ステージを取り上げ，従来の静圧浮上ステージの課題抽出と，その解決策を考察した．

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com