液晶パネル配線膜におけるダイレクトコンタクト対応Al合金の開発

釘宮敏洋; 米田陽一郎; 後藤裕史

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液晶パネル配線膜におけるダイレクトコンタクト対応Al合金の開発

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近年，液晶ディスプレイ（Liquid Crystal Displays，以下LCDsという）はパソコンや携帯電話，大画面薄型テレビなどで幅広く使用されている。㈱コベルコ科研（以下，当社という）ではLCDs配線膜用として，耐熱性に優れ, 電気抵抗率の低いAl-Ndスパッタリングターゲット材を開発してきた。Al-Ndはヒロック抑制効果に優れたNdを添新することにまり，400℃においてもヒロックが発生しをい。同時にNdなど希土類元素の添加はAlの電気抵抗に及ぼす影響が小さく，合金化による電気抵抗率の上昇を抑制するなどの効果がある。

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来源
《R & D 神戶製鋼技報》 |2009年第1期|31-35|共5页
作者
釘宮敏洋; 米田陽一郎; 後藤裕史;
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作者单位

（株）コベルコ科研ターゲット事業本部技術部;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类钢铁冶炼（黑色金属冶炼）（总论）;
关键词

液晶パネル配線膜におけるダイレクトコンタクト対応Al合金の開発

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