ポイントオートフォーカス超精密全周三次元測定装置（MLP-2SP）の開発と実用化

著录项

• 来源
  《精密工学会誌》 |2015年第962期|113-116|共4页
• 作者

  三浦勝弘; 松葉正; 塚本貴雄広瀬一古田島秀夫;

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• 作者单位

  三鷹光器株式会社;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 日语
• 中图分类 仪器、仪表;机械制造工艺;
• 关键词

  Point autofocus probe; Areal surface texture; Non-contact 3D measurement; Roundness; Gear tester; Tool edge;