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【24h】

高機能マイクロデバイスのためのフェムト秒レーザプロセッシング－二光子造形による可変プラズモニック素子の開発を中心に

机译：高機能マイクロデバイスのためのフェムト秒レーザプロセッシング－二光子造形による可変プラズモニック素子の開発を中心に

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フェムト秒レーザは，文字通りフェムト秒（10~(-15)秒）オーダの超短パルス光を生み出すことが可能であり，1990 年代から2000年代前半には，応用物理学会や関連学会で大きなトピックの一つとなった．当時，フェムト秒レーザはすでに市販されていたとはいえ，一般の研究室が入手できる価格ではなく，限られた研究室や研究所の関係者だけが利用できるツールであったそのころ，著者は学生であり，それらの状況を横目に，共同研究先に通いナノ秒レーザで実験をしていたことを思い出す．近年では，低価格で安定性に優れたファイバーレーザの出現などもあり，大学レベルでは，特殊なツールからより一般的なツールへとなりつつある．フェムト秒レーザの光源としての特徴は，その超短パルス性に由来した極めて高いピーク強度であるが，材料プロセス上の利点の一つは，透明材料の内部を直接に加工できることである．そのユニークな特徴から，当初はガラスなど透明材料内部の屈折率や組成変調が多く報告され，近年は，材料内部での蓄熱効果による溶融接合などへの関心も高い．また，ここ数年の3Dプリンターブームの影響か，改めて造形プロセスにも興味が向けられている．本稿では，著者らがこれまでに取り組んだフェムト秒レーザでの微細構造化プロセスを紹介したい．

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