シリコン含有DLC膜上の自己組織化単分子膜形成および摩擦特性

崔埈豪; 櫻井健一; 加藤孝久川口雅弘

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シリコン含有DLC膜上の自己組織化単分子膜形成および摩擦特性

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DLC／SAM複合膜の諸特性はDLC膜の表面状態に大きく依存し，またその表面状態はDLC膜の構成元素やその含有量に大きく左右される．したがって，実際のDLC膜の特性を把握したうえでSAM形成の様子を観察することが，DLC／SAM複合膜の摩擦·摩耗特性，疎水性，熱安定性を評価する際重要である．本研究では，熱安定性に優れるシリコン添加DLC膜（以下，Si-DLC膜）上で，有機シランSAM形成の様子を原子間力顕微鏡を用いて観察するとともに水平力顕微鏡による摩擦特性の評価，大気中における熱安定性の評価を行った．

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来源
《トライボロジスト》 |2010年第8期|572-578|共7页
作者
崔埈豪; 櫻井健一; 加藤孝久川口雅弘;
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作者单位

東京大学大学院工学系研究科;

東京大学;

東京都立産業技術研究センター;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类机械摩擦、磨损与润滑;
关键词

シリコン含有DLC膜上の自己組織化単分子膜形成および摩擦特性

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