円周走査型原子間力顕微鏡の開発

木之下　博; 酒向智也; 田川雅人大前伸夫小宮広志

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円周走査型原子間力顕微鏡の開発

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ナノテクノロジーの発展の一端を担うものとしてマイクロ加工技術に大きな期待が寄せられている．マイクロ加工技術では，LIGA（Lithographie Galvanoformung und Abformung）プロセス等の先鋭的な加工技術とそれらに並行して従来の機械加工技術も微細化が盛んに試みられ，実用性の高い微細加工技術が現実のものとなっている. 加工技術と呼応して，マイクロレベルにおける計測技術についても発展が切望されている．しかしながら，一般的な機械加工部品に対して行われている寸法精度の測定，例えば真直度，真円度，直角度といった形状精度の測定技術の整備に関して，マイクロレベルではほとんど手つかずの状態にあるといえる．

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来源
《トライボロジスト》 |2004年第11期|886-893|共8页
作者
木之下　博; 酒向智也; 田川雅人大前伸夫小宮広志;
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作者单位

神戸大学工学部機械工学科（〒657-8501 兵庫県神戸市灘区六甲台町1丁目1）;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类机械摩擦、磨损与润滑;
关键词

円周走査型原子間力顕微鏡の開発

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