Mikroskopia bliskiego pola jest jedn#261; z metod diagnostyki powierzchni w skali mikro-i nanometrowej. Poniewa#380; uzyskane wyniki zale#380;e#263; mog#261; od stanu powierzchni istotna jest kontrola warunków w komorze pomiarowej. Przedstawiono rozwi#261;zanie umo#380;liwiaj#261;ce pomiar temperatury oraz wilgotno#347;ci powietrza przy u#380;yciu cyfrowego czujnika firmy Sensirion.
展开▼