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高精度アルミニウム合金厚板「アルハイスーIII~R」, 「アルジェイド~R」

机译:高精度アルミニウム合金厚板「アルハイスーIII~R」, 「アルジェイド~R」

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摘要

半導体/液晶製造装置や太陽電池パネル製造装置などの真空チャンバや構造部材などにはアルミニウム合金厚板が多く用いられている。それらの部材に対しては,マシニングセンタを用いた切削加工,孔あけ加工,満加工が主に行われる。従来のJIS5052厚板では板厚精度や平坦度に乏しいため,表面切削加工が必要な場合が多く,また部材形状への切削加工においては,板厚方向における内部残留応力の差異により,いわゆる加工ひずみが生じて寸法精度が不足していた。

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