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走査電子顕微鏡の原理と応用（観察,分析）

机译：走査電子顕微鏡の原理と応用（観察,分析）

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走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：SEM）はナノテクノロジーからバイオテクノロジーまで幅広い分野で活用されている．これは，サブナノメータに迫る分解能が実現されたことに加え，測定ニーズの多様化に対応してさまざまな信号を利用した観察手法が確立されつつあることによる．本稿では，SEMの原理，SEM観察の注意点と最近のSEMを用いた応用例を紹介する．

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