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ミニマルファブシステムの構想と実現に向けて

机译：ミニマルファブシステムの構想と実現に向けて

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産業システムを一つ生み出すという遠大な作業に当たって，今後は，まず，ウェハの量産体制を整備し，PLADシステムを熟成して技術開発班内へ提供することを優先課題として進める．それと平行して，現在，ミニマルマスクアライナー，ミニマルマスクレス光露光，ミニマル洗浄，ミニマルコータ，ミニマルデイベロツパ，ミニマルウェットエッチング，ミニマルファーネスの装置化開発を進めている（図5）．おおよそ2年後には，微細加工テクノロジーであるリソグラフィープロセスを，これらの基幹装置群によって実際に実行できるようにする計画である．それとともに，研究レベルからスタートしている，ミニマルイオン注入とミニマルプラズマ，それにミニマルCVDについても装置開発着手へと移行させるよう努力してまいる所存である．

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