振動下で撮影された光干渉像を用いた高精度3次元形状計測

安達正明; 佐部田龍佳; 丹羽康人

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振動下で撮影された光干渉像を用いた高精度3次元形状計測

机译：振動下で撮影された光干渉像を用いた高精度3次元形状計測

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本論文では，垂直走査型の干渉応用形状測定装置に考案した方法を適用し，露光中に発生させた複数種の振動の下で取り込んだ干渉像から露光開始時の位相を実際に抽出し，形状計算した結果に関して報告する．一般に外部振動の計測結果への影響は干渉計の構造強度や共振の有無によって異なる．そこで，ここでは干渉計の中に外部振動の影響を擬似的に発生するPZTを持ち込んで露光開始直後に突発的な光路差変化を引き起こしている．そして，その位相への影響を考案方法で補正して計算した形状と補正しないまま計算した形状（振動が無かったものと見なして光強度のみから計算した結果）を比較し，その効果や残された問題点を検討した．

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来源
《精密工学会誌》 |2012年第936期|1076-1081|共6页
作者
安達正明; 佐部田龍佳; 丹羽康人;
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作者单位

金沢大学大学院自然科学研究科;

（株）小田原エンジニアリング;

金沢大学理工研究域;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类机械制造工艺;仪器、仪表;
关键词

振動下で撮影された光干渉像を用いた高精度3次元形状計測

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