表面波プラズマCVD装置の開発

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• 来源
  《島津評論》 |2005年第2期|15-26|共12页
• 作者

  鈴木正康; 猿渡哲也; Masayasu SUZUKITetsuya SARUWATARI;

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• 作者单位

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 日语
• 中图分类 一般性问题;
• 关键词

  Surface wave plasma (SWP); Microwave plasma; Slot antenna; CVD; Antireflection coat; Si{sub}2N{sub}3 film; High density plasma;