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【24h】

「第10世代対応TFTアレイ検査装置」にまつわる話

机译：「第10世代対応TFTアレイ検査装置」にまつわる話

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本開発では「第10世代基板（約3メートル角）対応」ということが一つの大きなポイントでした．3メートル角で薄さ0.7ミリメートルのガラス板を破損させることなく装置内に搬送し，真空引きを行い，基板全体の二次電子画像を取得する，という非常に大きなスケールでの開発が開始しました．図1に示しましたが，作業員の大きさと装置の大きさを比較していただくと，いかに装置が大きいかが分かります．装置が大きいが故の苦労もたくさんありましたので，昭介させていただこうと思います．

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