3D-MEMS光スイッチモジュールの開発－自動特性評価系の構築と試作モジュールの動作検証

水上雅人; 山口城治; 根本成河尻祐子下川房男

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3D-MEMS光スイッチモジュールの開発－自動特性評価系の構築と試作モジュールの動作検証

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我々は光通信システムに用いる3D-MEMS光スイッチの開発を進めており，これまで高速かつ安定な光パス接続実行のため，MEMSミラーのスイッチング制御アルゴリズムを提案し，有用性を実証した．今回，このスイッチング制御アルゴリズムを搭載した3D-MEMS光スイッチモジュールを試作し，その動作検証を行った．本報告では，スイッチング特性（以下，特に断りが無い場合は「特性」）評価を効率化するために考案した，自動特性評価系の構築と動作検証に主眼を置き，自動特性評価系を試作光スイッチモジュールの特性評価に適用した結果を述べる．

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来源
《精密工学会誌》 |2011年第918期|566-570|共5页
作者
水上雅人; 山口城治; 根本成河尻祐子下川房男;
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作者单位

日本電信電話（株）マイクロシステムインテグレーション研究所;

香川大学工学部;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类机械制造工艺;仪器、仪表;
关键词

3D-MEMS光スイッチモジュールの開発－自動特性評価系の構築と試作モジュールの動作検証

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