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切削工具用のセラミックナノコーティング

机译：切削工具用のセラミックナノコーティング

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ナノレベルで結晶が制御された硬質セラミックスコーティングの種類，方法，主に工具用のコーティングに用いられる方法の特徴を示し，それらの最近のナノ技術を適用した開発事例を述べる．CVD(Chemical Vapor Deposition)法によるコーティングについてはZr含有コーティング，PVD(Physical Vapor Deposition)法によるコーティングについてはTiSiNコーティング，複合コーティング，厚膜コーティング，DLC（ダイヤモンドライクカーボン）コーティングの事例を紹介する．

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