X 線ミラー用ナノ精度表面創成法の開発：形状修正加工の高分解能化とX 線集光ミラーへの適応

三村秀和; 湯本博勝; 松山智至佐野泰久山内和人

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X 線ミラー用ナノ精度表面創成法の開発：形状修正加工の高分解能化とX 線集光ミラーへの適応

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本研究では，Ｘ線ミラーの作製のためのナノ精度表面創成システムの中で, これまで除去が困難であった1mm 以下の空間波長帯域の形状誤差を除去するために, 形状修正加工における高分解能化を行い, それをＸ線ミラーに適応し, その有効性を確かめた. 以下に, 本論文のまとめを示す.(1) 形状修正加工における形状計測システムにおいて, MSIとRADSI を組み合わせた方法で得られたプロファイルは空間波長1mm 以下の領域において, 1nm 以下での高い測定再現性を確認した.(2) ノズル型EEM において, 開口形状を0.15mm にすることで．0.2mmφの大きさの静止加工痕形状が得られた.(3) Ｘ線ミラーの作製に本加工システムを適応し, 空間波長1mm 以下の領域における形状誤差の除去が可能であることを確認した.(4) 作製したＸ線ミラーの評価をSPring-8 1km 長尺ビームラインにおいて行った結果, 集光強度プロファイルにおいて, 集光点近傍の散乱Ｘ線の除去効果と拡大Ｘ線における強度均一効果を確認し, 本システムがX 線ミラー作製に不可欠であることを実証した.

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来源
《精密工学会誌》 |2010年第903期|338-342|共5页
作者
三村秀和; 湯本博勝; 松山智至佐野泰久山内和人;
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作者单位

大阪大学大学院工学研究科;

高輝度光科学研究センター;

大阪大学大学院工学研究科超精密科学研究センター;

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正文语种日语
中图分类机械制造工艺;仪器、仪表;
关键词

X 線ミラー用ナノ精度表面創成法の開発：形状修正加工の高分解能化とX 線集光ミラーへの適応

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