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【24h】

スキャン光学エンコーダに関する一研究－レーザ干渉によるスキャン光学系と位相同期検波による高分解能位置センサ

机译：スキャン光学エンコーダに関する一研究－レーザ干渉によるスキャン光学系と位相同期検波による高分解能位置センサ

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本研究では，次のような結果を得た．(1) 干渉型光学エンコーダにスキャナを組み合わせることによって高分解能を実現するスキャン光学式エンコーダの構成を提案した．(2) 音さ型水晶振動子を利用した超小型スキャナを開発し，干渉型エンコーダ光学ヘッドを試作した．(3) 218分割の位相同期検出ロジックを開発し，4μmピッチのスケールと組み合わせ7.6pmのデジタル分解能を実現した．(4) 安定性，取り付け容易性を評価し，高分解能位置センサとして十分な実用性があることを確認した．さらに研究を進めることによって，1pm以下の分解能を実現する可能性が高い．

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