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すきま理論に基づくラッピングシミュレーション(第１報)－試料·工具の接触状態と相対弾性定数

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テレビや液晶などのディスプレイに使用されるガラス基板やリソグラフィに使用されるフォトマスクは大型化が進み，大面積化に伴う平坦度の向上が問題となっている．現在，これら基板の粗加工にはラッピング加工が適用されており，その形状生成過程を解明するシミュレーションに関する研究も古くから行われている．しかし，種々の形状をもつ定盤や試料に対する形状生成過程，形状精度を向上させるようなシミュレーションの研究はほとんど行われていない．一方，ポリシングシミュレーションに関しては多くの研究がなされ，試料と工具間に生じる「すきま」という量を導入して合力と合モーメントの釣り合いから圧力分布を算出する理論式が導出され，実験とシミュレーション結果がよく一致することが明らかにされている．本研究では，このすきま理論をガラスのラッピングに適用する．

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