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めっき技術を応用した超微細ファブリケーションの実用化

机译:めっき技術を応用した超微細ファブリケーションの実用化

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摘要

めっきを用いた超微細ファブリケーションについて,実用化の例を示した.微細ならではの生産プロセスの困難さもあるし,工程がめっきに制限されているが故に材料特性を調整する事の困難さもある.しかし,微細な金属部品を非常に高い精度で形成する製法は限られており,本稿で紹介した方法は有力な一つである.今後も課題を乗り越え,ますます発展していくものと期待している.

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