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MEMS商業化技術専門委員会 MEMSとIoT製造技術

机译:MEMS商業化技術専門委員会 MEMSとIoT製造技術

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摘要

MEMS商業化専門技術委員会は,ナノインプリント技術を研究するマイクロ成形分科会,MEMSパッケージ分科会,常温接合など表面界面制御を利用した製造プロセスを研究するナノ製造科学分科会の3分科会を前身に,2003 年2月に発足した.15年前の当時は,欧米でも“MEMS Commercialization”を扱つ国際シンポジウム,ワークショップが複数開催されており,上記分科会が調査研究対象としていた接合·実装技術や非シリコンプロセスは,間違いなく MEMS商業化のキー技術と考えられていた.その後,(残念ながら?委員会の活動とは無関係に),まさに多くのMEMSデバイスが搭載されるスマートフォンが急速に普及するなど,MEMSの商業化が順調に進展したのは周知のとおりである.すでに前回の専門委員会レビューを担当した2014年時点でも,“スマートフォン市場が牽引するMEMSの商業化の進展”は顕著だったわけだが,現在はそれにIoT (Internet of Things)用センサでさらに活況を呈することが期待されているという状況であろうか.

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