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超安定加工法に関する理論的解析

机译：超安定加工法に関する理論的解析

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超精密研削盤を用いて成形研削を行ったとしても，工作物の形状精度を位置決め分解能のオーダに近づけることは困難である．この原因の一つとして，研削面上に発生する微小な振幅のうねりが挙げられる．このうねりの発生が，形状精度のさらなる向上を妨げる要因となっている．このうねりの発生メカニズムおよび特性を明らかにし，抑制する必要がある．ここでは，研削条件を最適化することによる抑制方法について記す．また，うねりの影響を抑制する超安定超精密加工のコンセプトについて紹介する．

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