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BCE型TFT対応酸化物半導体材料

机译:BCE型TFT対応酸化物半導体材料

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摘要

液晶や有機ELディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ(FPD)は,近年,画面の大型化,高速駆動化,4kあるいは8kディスプレイにみられる高精細化などの高性能化が進んでおり,画像素子を駆動するためのスイッチング素子である薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)の高速駆動,および大電流化が求められている。これに伴い,TFTの心臓部である半導体薄膜には電子移動度の高い半導体材料が必要とされる。

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