はじめての精密工学：SEMによる微細形状·粗さ測定

田口佳男; 小俣有紀子

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はじめての精密工学：SEMによる微細形状·粗さ測定

机译：はじめての精密工学：SEMによる微細形状·粗さ測定

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走査電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)は，電子ビーム（一次電子線）と固体試料との相互作用によって，10nm 程度のごく浅い表面層から放出される二次電子信号を利用している．SEM像の明暗のコントラストは，主に試料表面の凹凸形状を反映したものであり，二次電子検出器に捕捉された電子の量に対応している．これは，一次電子線の入射する方向と試料表面とのなす角度によって二次電子放出量が変化し，さらに平行に近くなるほど二次電子放出量が増加することに起因する．本測定法は，二次電子放出量が試料表面の傾斜角度に依存し，また，0°～75°付近の間で単調に増加することを応用した手法であり，SEMを基盤とした関連技術の一つである．

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来源
《精密工学会誌》 |2009年第891期|363-366|共4页
作者
田口佳男; 小俣有紀子;
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作者单位

(株)エリオニクス;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类机械制造工艺;仪器、仪表;
关键词

はじめての精密工学：SEMによる微細形状·粗さ測定

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