今回で32回目を迎えた国際会議であるASPE2017 (American Society for Precision Engineering)力s 2017 年 10月29日から11月3日^)日程で,アメリカ合衆国-ノ ースカロライナ州シャーロッ卜のthe Westin Hotel Charlotteにおいて開催された.会期の初めにTutorials が2日間あり,11月30日夕刻より,“Precision Mechanics and Mechatronics in ASML Lithography Equipment: Key Drivers for the Continuation of Moore's Law for Semiconductor Devices と題して Keynote Address力巧ラわれた.
展开▼