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微細パターンを形成したシリコン表面におけるカーボンオニオンの潤滑特性

机译：微細パターンを形成したシリコン表面におけるカーボンオニオンの潤滑特性

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本研究は，摺動表面性状がナノメートルスケールのカーボンオニオンの潤滑特性に与える影響を調べることを目的としたものである．平均粒径5 および20 nmの2種類のカーボンオニオンと，比較として平均粒径1μm のMoS_2 を試料とした．摺動部材としてシリコン板を用い，リソグラフィおよびプラズマエッチングにより微細パターンを形成した．固体潤滑では摺動面に安定した潤滑膜の形成が重要であり，微細パターンを形成したシリコン板表面におけるカーボンオニオン潤滑膜の形成状態を摩擦係数，潤滑寿命の観点から評価した．このとき，シリコン板上の微細パターンの凹凸深さと潤滑材の粒径との関係が潤滑状態に与える影響について調べた．さらに，シリコン板に形成する微細パターンの形状が潤滑に与える影響についても調べた．

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