表面性状評価のためのトポグラフィデータ処理技術

後藤智徳

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表面性状評価のためのトポグラフィデータ処理技術

机译：表面性状評価のためのトポグラフィデータ処理技術

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表面性状評価において，測定によって得られるデータは，図1 に示すように短波長領域の粗さ成分，長波長領域の形体成分，および，中間の波長領域のうねり成分で構成されていると考える．各波長領域に含まれる成分は，フィルタ処理を通じて分離され各種解析計算の対象となる．このようにフィルタ処理は，表面性状評価で重要な役割を担っており，ISO/TC213 WG16 が，ISO/TS 16610 シリーズとして，その規格化を進めている．これと並行して，WG15 が3D 表面性状評価に関する規格化を進めており，ISO/DIS 25178-3に3D評価曲面を得るための処理手順についての規定がある．ここでは，ISO/TS 16610 シリーズとして整備されつつあるフィルタ処理技術，および，ISO/DIS 25178-3 に記載の形体成分除去を中心に，処理技術の特徴や問題点について解説する．

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来源
《精密工学会誌》 |2010年第909期|1007-1010|共4页
作者
後藤智徳;
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作者单位

(株)ミツトヨソフトウェア開発部;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类仪器、仪表;机械制造工艺;
关键词
Surface texture; Surface topography; Filtering; End-effect; Form removal; Trend compensation; Lp-norm; M-estimation; Bayes estimation;

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