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Four-port integrated polarizing beam splitter

机译:四端口集成偏振分束器

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摘要

In this Letter, we report on the first integrated four-port polarizing beam splitter. The device operates on the principle of mode evolution and was implemented in a silicon-on-insulator silicon photonics platform and fabricated on a 300 mm CMOS line using 193 nm optical immersion lithography. The adiabatic transition forming of the structure enabled over a 150 nm bandwidth from λ ~ 1350 to λ ~ 1500 nm, achieving a cross-talk level below -10 dB over the entire band.
机译:在这封信中,我们报告了第一个集成的四端口偏振分束器。该器件基于模式演化原理工作,在绝缘体上硅光子学平台上实现,并使用 193 nm 光学浸没光刻在 300 mm CMOS 生产线上制造。该结构的绝热跃迁形成可在 λ ~ 1350 至 λ ~ 1500 nm 的 150 nm 带宽范围内实现,在整个频段上实现低于 -10 dB 的串扰电平。

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