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【24h】

AKT　新構造の電極を持つPE-CVDを製品化韓国の第7世代TFT-LCDラインに納入

机译：AKT　新構造の電極を持つPE-CVDを製品化韓国の第7世代TFT-LCDラインに納入

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AKTは，第6，第7世代ガラス基板向けプラズマ（PE）-CVDプロセスチャンバと装置を開発，製品化し．韓国のTFT-LCD工場に納入したと発表した。 新チャンバは．基板サイズの拡大で顕在化する定在波の影響をなくしたもの。 しかし特許申請中で，具体的な改良点については明確にしなかった。 また同社は，FPD分野で，TFT-LCD向け以外にも新装置も投入する考えがあることを示した。

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