Heutzutage geht der Trend immer mehr zu kleineren, hochintegrierten, kostengunstigen und energieeffizienten Systemen. Die moderne Halbleitertechnologie ermoglicht es nicht mehr nur elektronische Schaltungen, sondern bereits gesamte Aktuatoren, sogenannte mikro-elektromechanische Systeme (MOEMS) zu fertigen. MEMS-Spiegel Elemente benotigen jedoch ein zuverlassiges Packaging und zusatzliche Kontrollelektronik, um eine konstante Auslenkamplitude unter veranderlichen Temperatureinflussen zu gewahrleisten 1. Diese Mikromechaniken konnen erst dann ihren Vorteil voll ausschopfen, wenn auch die Ansteuerung miniaturisiert wird und eine innovative Systemintegration zur Verfugung steht. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Umsetzung einer mikrooptischen Scannereinheit, die z.B.: eine Realisierung eines integrierten Mikrobeamers in einem Handy oder Tablet Computer ermoglichen soll. Das Modul beinhaltet zur genauen Bestimmung des Auslenkwinkels eine Lichtquelle, dessen Strahl durch ein PSD Element die Spiegelunterseite erreicht, dort reflektiert wird und anschliessend wieder auf die Sensorflache trifft. Der dadurch generierte Fotostrom wird vom implementierten Transimpedanzverstarker in eine Messspannung umgesetzt und auf dem Stecker zur Verfugung gestellt. Durch das innovative Konzept dieses Moduls, bildet die Leiterplatte neben der eigentlichen Aufgabe der elektrischen Verdrahtung durch ein Faltkonzept, gleichzeitig ein lichtdichtes Gehause, das mittels Lotprozess verschlossen wird. Zusatzlich bestimmt hier die Leiterplatte auch andere physikalischen Rahmenbedingungen, wie die Einstellung der korrekten Lange des optischen Pfades und das bei einer Abmessung von lediglich 9.2 × 7 × 4 mm~3.
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