A new Cu-CMP technology for next generation LSIs

Yoshiaki Oku; Muneyuki Matsumoto; Akira Kamisawa

首页> 外文期刊>トライボロジスト >A new Cu-CMP technology for next generation LSIs

【24h】

A new Cu-CMP technology for next generation LSIs

机译：用于下一代LSI的新型Cu-CMP技术

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

掌桥外文数据库（机构版） >>

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

著录项
相似文献
相关主题

著录项

来源
《トライボロジスト》 |2000年第10期|732-738|共7页
作者
Yoshiaki Oku; Muneyuki Matsumoto; Akira Kamisawa;
展开▼
作者单位

harm.uni-duesseldorf.de;

展开▼
收录信息
原文格式 PDF
正文语种日语
中图分类机械摩擦、磨损与润滑;
关键词
Cu-CMP; Fixed abrasive pad; Cu interconnection; Dishing; Erosion; Planarization; Scratch; Roughness; Pattern sensitivity;

机译：铜-CMP;固定式砂垫;铜互联;碟装;侵蚀;平坦化;划痕;粗糙度;模式灵敏度;

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. LSI配線用Cu-CMP技術 [J] . 深田哲生, 高田裕, 佐藤一直三菱电机技报 . 2002,第10期

机译：LSI配线用Cu-CMP技术
2. LSI配線用Cu-CMP技術 [J] . 深田哲生, 高田裕, 佐藤一直三菱电机技报 . 2002,第10期

机译：LSI配线用Cu-CMP技术
3. Multiple input multiple output (MIMO) and fifth generation (5G): an indispensable technology for sub-6 GHz and millimeter wave future generation mobile terminal applications [J] . Ishteyaq Insha, Muzaffar Khalid international journal of microwave and wireless technologies . 2022,第7期

机译：Multiple input multiple output (MIMO) and fifth generation (5G): an indispensable technology for sub-6 GHz and millimeter wave future generation mobile terminal applications
4. Latest simulation actual system evaluation technologies using next generation refrigerants [C] . Kiyoshi Saito International Institute of Refrigeration;Institut International Du Froid;IIR International Conference on HFO Refrigerants and Blends . -1

机译：Latest simulation actual system evaluation technologies using next generation refrigerants
5. Best Practices for Executive Leadership Succession Planning in Post-cultural Revolution China First-Generational Family Enterprises =文化大革命后中国第一代家族企业执行领导者继任计划的最佳实践 [D] . Chang, Yi-Chun. 2020

机译：Best Practices for Executive Leadership Succession Planning in Post-cultural Revolution China First-Generational Family Enterprises =文化大革命后中国第一代家族企业执行领导者继任计划的最佳实践
6. Arsenic–silicon priming of rice (Oryza sativa L.) seeds influence mineral nutrient uptake and biochemical responses through modulation of Lsi-1 Lsi-2 Lsi-6 and nutrient transporter genes [O] . Ehasanullah Khan, Meetu Gupta -1

机译：水稻（Oryza sativa L.）种子的砷硅引发可通过调节Lsi-1Lsi-2Lsi-6和营养转运蛋白基因来影响矿质养分吸收和生化响应
7. PDP 404 - AMALAN TEKNOLOGI PENGAJARAN - JUN 1995. [O] . PPIP Pusat Pengajian Ilmu Pendidikan 1995

机译：PDP 404-TECHNOLOGY TECHNOLOGY TECHNOLOGY-1995年6月。
8. Limited Energy Study. Postwide Share Generation/Peak Shaving Generation Plant.Energy Engineering Analysis Program (EEAP), Fort Lee, Virginia. Executive Summary [R] . 1994

机译：有限能源研究。 postwide share Generation / peak shaving Generation plant.Energy Engineering analysis program（EEap），Fort Lee，Virginia。执行摘要

A new Cu-CMP technology for next generation LSIs

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅