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中間流領域におけるスピニングローター真空計の特性（Ⅱ）

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内蔵のセンサーでヘッドの温度を測定し自動補正できることなどを特徴とするスピニングローター真空計を使用して中間流領域でのSRGの特性を評価した．その結果，基本的な特性（バックグラウンドのばらつきの計測時間依存性など）ほ他のSRGと同様のふるまいをしているが，急激に容器内の圧力を変化させた場合にほ，指示圧力の時間変化が他のSRGとほ異なるふるまいをすることが観察された．この結果は，ローター付近と温度センサー部分との温度差を考慮に入れることで説明できることが分かった．また，定常状態では，内蔵の温度センサーによる補正が有効に働くことを確かめた．今後ほ圧力の絶対値についての特性を評価する予定である．

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