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回折効率解析プログラムの開発と最適選択則の検討
【24h】
回折効率解析プログラムの開発と最適選択則の検討
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回折効率に関する解析手法は様々なものが提案されてきだが，どの解析手法も計算精度を上げるためには，より細かな要素を設定したり，より高いフーリエ級数成分まで計算したりすることを避けることができない。 一般的にそれらは巨大な行列問題に帰されることとなり，演算装置の能力（CPU速度，メモリ容量）により何がしかの制約を受けざるを得ないというのが現状である。 本稿では，代表的な解析手法である厳密結合波解析（RCWA）と境界要素法（BEM）の理論を紹介する。 そして，それぞれの解析手法に適した波長領域を理論的に考察し，実験や解析結果と比較することでその妥当性を明らかにする。
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著录项
来源
《島津評論》
|
2005年第4期
|
193-199
|
共7页
作者
宮内真二;
小池雅人;
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作者单位
設計技術センター;
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收录信息
原文格式
PDF
正文语种
日语
中图分类
机械、仪表工业;
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