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異方性エッチンゲされたSi(100)面のフラクタル特性の起源

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摘要

本研究では,単結晶Siと箆OH水溶液の化学反応を基礎に,Si原子の溶解とマイクロピラミッド生成因子の付着が形成する表面について5  確率論的アプローチによるシミュレーションを行った。 そして,得られた表面特性を異方性エッチングされたSま(100)面の特性と比較し,以下の諸点を明らかにした.(1)表面粗さ,断面曲線のフラクタル次元マイクロビラミッドの発生数とその分布など,シミュレしー州ション表面の特性はノイズ減少パラメータ値仁格子点の選択回数~反応生成物の付着確率などのパラメータによって変化す(2)ノイズ減少パラメータ値を液温に,格子点の選択回数をエッチング時間に,反応生成物の付着確率を水溶液濃度にそれぞれ対応させると,上記のシミュレーション結果はエッチング条件によって変化するSi(100)面の特性と定性的に一致する.(3)上述のことから,統計的に自己相似なエッチング表面の形成は,Si原子の確率的溶解とマイクロピラミッド生成因子の確率的付着に起因することが明確になった.

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