Auger profiling of rsquo;rsquo;abruptrsquo;rsquo; LPE AlxGa1minus;xAshyphen;GaAs heterojunctions

C. M. Garner; Y. D. Shen; J. S. KimG. L. PearsoF W. E. SpicerJ. S. HarrisD. D. Edwall

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Auger profiling of rsquo;rsquo;abruptrsquo;rsquo; LPE AlxGa1minus;xAshyphen;GaAs heterojunctions

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Ion millingndash;Auger electron spectroscopy has been used to study, for the first time, the chemical widths of rsquo;rsquo;abruptrsquo;rsquo; LPE AlxGa1minus;xAshyphen;GaAs heterojunctions with compositionx=0.43, 0.60, and 0.85. rsquo;rsquo;Abruptrsquo;rsquo; LPE junctions were found to have chemical interface widths of 90ndash;130 Aring;.

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来源
《journal of applied physics》 |1977年第7期|3147-3149|共页
作者
C. M. Garner; Y. D. Shen; J. S. KimG. L. PearsoF W. E. SpicerJ. S. HarrisD. D. Edwall;
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收录信息美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
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