Contribution de la microscopie electronique a balayage environnementale a I'etude des materiaux metalliques

F. Oudet

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En pratique, la necessite d'observer des echantillons conducteurs et resistants au vide de la chambre d'observation conduit a un certain nombre de limitations bien connues des utilisateurs. Certaines peuvent etre contournees simplement par metallisation, d'autres impliquent des protocoles complexes de traitement (deshydratations successives, fixations...) qui peuvent s'averer prejudiciables a la fiabilite des observations. La derniere generation de microscopes s'affranchit dans une large mesure de ces contraintes. L'ESEM (Environmental Scanning Electron Microscopy) permet, comme son nom l'indique, de mener a bien des observations tout en respectant l'environnement naturel des echantillons. Cette technique trouve son origine dans les travaux de Danilatos (1) qui, en 1979, a developpe une chambre d'observation sous haute pression associee a un detecteur des electrons secondaires generes par ionisation du gaz au voisinage de l'echantillon (2).

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来源
《Revue de Metallurgie: Cahiers d'Informations Techniques》 |2003年第5期|561-566|共6页
作者
F. Oudet;
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作者单位

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收录信息美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
原文格式 PDF
正文语种法语
中图分类冶金工业;
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