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MEBS et MAPS: developpements recents en cartographie des microstructures

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摘要

Les microscopes electroniques a balayage (MEBs) sont devenus a la fois des outils de caracterisation de routine des materiaux et des equipements sophistiques de recherche avancee. Les raisons bien connues de ce succes scientifique et technologique tiennent a la diversite des materiaux etudies par cette technique ainsi qu'a la quantite des informations que l'on peut en tirer rapidement a differentes echelles : topographique, morphologique, chimique et cris-tallographique. Un MEB permet des caracterisations allant du centimetre au nanometre, ce qui, allie a sa grande profondeur de champ, constitue un outil puissant d'etudes multi-echelles. L'objectif de cet article est double : d'une part passer en revue les differentes possibilites des MEBs actuels (accessoires EDS, WDS, EBSD, mesures in situ et environnementales etc..,), et d'autre part souligner le role croissant des etudes en cartographie (de composition, d'orientation, voire de deformations). Les cartographies sont souvent appelees par leur nom anglais " maps ", d'ou le titre un peu facetieux : MEBS et MAPS.

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