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メソスケール三次元形状測定技術-光放射圧を利用したナノCMMマイクロプローブ

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摘要

製造部品の基準寸法が1 mm以下になるとともに絶対公差がサブミクロンの領域となるため,相対公差の低下によって部品精度のばらつきが増加する.そのため,基準寸法の微小化にともなう加工および計測技術の,メソスケール領域における精度劣化を克服しなければならない.相対公差が基準寸法の10{sup}(-3)~10{sup}(-4)で指定される「精密な」微小部品やマイクロ部品を実現するためには,物理現象の基礎的な知見に基づいた新たな計測原理を導入し,計測系全体のパフォーマンスを向上させる根本的な方法が必要である.

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