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専門委員会·分科会研究レビユー：微細·精密加工技術を利用した機能表面の創製

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固体表面に設けた微細構造により種々の機能が発現でき，それらの応用が増えつつある．しかし，そのような表面機能の設計から製作に至るプロセスについては解決すべき課題が多い．図1にはこれらの関係を示す．加工→構造→機能発現という連鎖の中の前半の加工プロセスに着目すると，近年の微細加工技術は古典的な除去加工プロセスに加えて，MEMSのような半導体製造技術，インプリントによる形状転写やスパッタ付着等，多様なものが用いられようになってきている．同一寸法の構造を製作するための加工技術が唯一無二であるということは決してなく，技術の進展に伴って加工分解能やコスト等も常に変動していると考えるべきであろう．また，加工単位がサブミクロンのレベルになると，工具形状とその運動軌跡の転写を原理（母性原則）とする，いわゆるトップダウンプロセスよりも，自己組織的なプロセス，いわゆるボトムアッププロセスが有利となる領域がある．要求に合わせた加工プロセスの選択においては適切な組合せも考える必要があろう．次に，上記連鎖の後半の機能設計に着目する．表面構造で発現される機能は多岐にわたり，その典型例として，摩擦，濡れ性，光学特性の制御が挙げられる．これらの機能と構造寸法の関係は一部で設計論が確立されているものの，検討が十分でないものもある．したがって，所望の機能を発現するための構造と加工技術を選択するための一般論確立が今後必要であると考えられる．本分科会は，上記のような微細加工法と機能発現の間をつなぐための調査と体系化を行うことを目的としている．なお，加工技術そのものも重要な研究の対象であるが，本分科会では加工は手段と捉えており，必ずしも目的とは捉えていない．

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