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98-9-4 - Mesure directe de la resistance electrique des films superficiels en cours de traitement et en laboratoire

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摘要

Une des caracteristiques de la nouvelle technique CER (Contact Electric Resistance), pour les analyses de surface et fondee sur la mesure precise de la resistance electrique superficielle des materiaux, est que la mesure peut etre effectuee aussi facilement dans le processus de traitement d'une usine qu'en laboratoire. La sonde de mesure CER est appliquee sur la surface etudiee avec une precision de l'ordre de 10~(-10) m. Un courant continu passe par le point de contact et l'appareil mesure la tension resultante. La resistance ohmique est calculee a partir de cette tension, seion la loi d'Ohm. La mesure peut etre effectuee avec une frequence maximale de 0,3 Hz, ce qui permet la surveillance en continu, par exemple des procedes d'adsorption.

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