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Walking Driveに基づくXYθテーブルの開発(第2報)--駆動方式の比較検討と小型鉛直面内XYθテーブルの開発

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摘要

本報では,Walking-Driveの原理を多軸駆動に適用する2つの方式について比較し,その特徴を明らかにした。また,小型化に有利な未定変位パターン方式に基づいて,鉛直面内での駆動が可能な小型XYθテーブルとその位置決め制御システムを開発した。 本報で得られた結果は,以下のようにまとめることができる。 (1)既定変位パターン方式では3つ以上のグループの駆動部が必要になるが,駆動アルゴリズムが単純であり,1周期の駆動量が大きい。他方,未定変位パターン方式では,最低2つのグループの駆動部により,リアルタイムでXY平面内の任意の方向への駆動を行うことができるが,駆動アルゴリズムが比較的難解となり1周期の駆動量が半減する。 ただし,あらかじめ運動軌跡が与えられている場合には,2つのグループで駆動が可能である上に1周期の駆動量も大きくすることができる。(2)小型XYθテーブルを開発し,永久磁石を利用して加速度に制限を設けることによって鉛直面内での駆動を可能とした。また,装置の構成に合わせて未定変位パターン方式の駆動アルゴリズムに若干の修正を加えた。実際にオープンループの駆動実験を行い,その特性を明らかにした。

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